SCIENTIFIC RESEARCH
科研
機臺真空磁懸浮電機
磁懸浮電機及其控制器
半導體行業(yè)中RTP、RTA工藝中涉及到的快速退火設備，其中利用磁懸浮轉臺對晶圓進行穩(wěn)定懸浮和旋轉，實現(xiàn)相應的工藝要求。
磁懸浮電機控制器在正常運行時可控制電機平穩(wěn)運行，轉速波動在工作范圍內可達到要求精度；具備轉子運動狀態(tài)監(jiān)控功能，在設備產生故障時，能夠及時報警并生成異常日志，以便后續(xù)故障排查；具備定子溫度監(jiān)控及過溫保護功能；具備斷電保護、急停功能，可在斷電、失載、過載、偏心、跳動超標等情況下提供設備保護等。
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